形状記憶合金を利用したプリンタヘッド及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200554
公開番号（公開出願番号）：特開2000-190495
特許番号：特許第3266582号
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】平板形状のシリコン基板を提供する工程と、前記シリコン基板を熱酸化させて基板の両側表面に二酸化珪素層を形成する工程と、前記二酸化珪素層の上部に形状記憶合金層を半導体薄膜製造プロセスによって形成する工程と、形成された形状記憶合金層を熱処理する工程と、前記形状記憶合金層をパターニングする工程と、前記シリコン基板の上部及び下部に形成された二酸化珪素層をパターニングする工程と、前記形状記憶合金層の上部に電極を所望のパターンに形成する工程と、前記電極を保護するための絶縁層を形成する工程と、前記電極及び絶縁層が形成された前記シリコン基板をエッチングしてプリンタヘッドの本体を形成する工程と、多数のノズルが形成されたノズルプレートを別途に成形する工程と、前記ノズルプレートに感光性ドライフィルムを接着させた後、パターニングして流路板を形成する工程と、前記プリンタヘッドの本体に前記ノズルプレートと前記流路板とを接着させる工程とを備えた形状記憶合金を利用したプリンタヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

出願人引用 (3件)

インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-247680 出願人：株式会社精工舎
特開昭59-093356
特開平2-265752

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