電子ビーム照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：曾我道照 , 曾我道治 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 長谷正久 , 福井宏司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055499
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249800
特許番号：特許第3553406号
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子ビームの照射領域が高原子番号及び高融点の材料からなる円板形ターゲットを、該電子ビームに平行な軸の回りに回転させる電子ビーム照射装置において、前記ターゲットを囲繞するケーシングと該ケーシングの一側面に接続された冷却配管とが一体的に回転自在に設けられ、該冷却配管が磁性流体シールを介して冷却水給配管に接続され、該ケーシングは電子ビームを通過させる円環状部分を備えていることを特徴とする電子ビーム照射装置。

IPC (1件)：