特許

J-GLOBAL ID：201103002191184048

薄膜太陽電池用の溝加工ツール

発明者： 曽山 正信
出願人/特許権者： 三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-002497
公開番号（公開出願番号）：特開2011-142235
出願日： 2010年01月08日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：

【課題】1つの工具を用いて膜を確実に除去でき、かつ常に安定した品質の溝を形成することができるようにする。【解決手段】この溝加工ツール16は、ホルダ15に保持され、ホルダ15とともに集積型薄膜太陽電池の薄膜上を一方向に移動させて、一方向に延びる溝を薄膜上に形成するための加工ツールである。溝加工ツール16は、ホルダ15に保持されるツール本体22と、ツール本体22の先端部に形成され溝加工用の刃先25を先端に有する刃先部24と、を備えている。刃先部24の刃先25は、溝形成方向と直交する刃先幅方向の両端部に形成された1対のエッジ25b,25cと、1対のエッジ25b,25c間に形成され内側に窪む逃げ部25dと、を有している。そして、刃先の1対のエッジ25b,25c及び逃げ部25dの下端縁を含む面は加工姿勢において薄膜表面と平行である。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ホルダに保持され、前記ホルダとともに集積型薄膜太陽電池の薄膜上を一方向に移動させて、前記一方向に延びる溝を前記薄膜上に形成するための加工ツールであって、 前記ホルダに保持されるツール本体と、 前記ツール本体の先端部に形成され、前記溝加工用の刃先を先端に有する刃先部と、 を備え、 前記刃先部の刃先は、 前記溝形成方向と直交する刃先幅方向の両端部に形成された1対のエッジと、 前記1対のエッジ間に形成され、内側に窪む逃げ部と、 を有し、 前記刃先の1対のエッジ及び逃げ部の下端縁を含む面は、加工姿勢において前記薄膜表面と平行である、 薄膜太陽電池用溝加工ツール。

IPC (1件)：

H01L 31/04

FI (1件)：

H01L31/04 S

Fターム (8件)：

5F051AA05 ,  5F051BA14 ,  5F051EA10 ,  5F051GA03 ,  5F151AA05 ,  5F151BA14 ,  5F151EA10 ,  5F151GA03