特許

J-GLOBAL ID：201103002247882967

導電膜付きガラス板の製造方法

発明者： 藤沢 章 ,  平田 昌宏 ,  清原 康一郎
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (4件)： 鎌田 耕一 ,  池内 寛幸 ,  佐藤 公博 ,  乕丘 圭司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080962
公開番号（公開出願番号）：特開2001-039738
特許番号：特許第4430193号
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 膜厚が400nm以上の酸化錫を主成分とする導電膜がガラス板上に形成された導電膜付きガラス板の製造方法であって、有機錫化合物の蒸気と酸素と水蒸気とを含み、前記有機錫化合物に含まれる錫原子1モルに対し、酸素が10モル以上、水蒸気が15.7モル以上、酸素および水蒸気の合計量が30モル以上50モル以下の範囲にある混合ガスを熱分解することにより、ガラス板上またはガラス板製造工程におけるガラスリボン上に、波長域400nm〜800nmにおける吸収率の平均値が3.0%以下である前記導電膜を成膜することにより、波長550nmにおける全光透過率が80.7%以上であり、波長550nmにおけるヘイズ率が4.6%以上である導電膜付きガラス板を得ることを特徴とする導電膜付きガラス板の製造方法。

IPC (6件)：

C03C 17/245 ( 200 6.01) ,  C03C 17/34 ( 200 6.01) ,  C23C 16/40 ( 200 6.01) ,  H01B 5/14 ( 200 6.01) ,  H01B 13/00 ( 200 6.01) ,  H01L 31/04 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C03C 17/245 Z ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 16/40 ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 B ,  H01L 31/04 M

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-225373
  
• 特開昭63-199863
  
• 特開平1-145350