ダイヤモンドを用いた電子装置の作製方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-140528
公開番号（公開出願番号）：特開平3-006065
出願日： 1989年06月01日
公開日（公表日）： 1991年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上に多結晶のダイヤモンドを形成する工程と、該ダイヤモンドを覆って光透光性有機樹脂を形成することにより、前記ダイヤモンドのピンホールまたは凹部に前記有機樹脂を充填する工程と、前記有機樹脂を選択的に除去して、前記ピンホールまたは凹部の前記有機樹脂を残存させつつ、前記ダイヤモンド上表面を露呈せしめる工程と、前記上表面に1つまたは複数の電極を形成する工程を有することを特徴とするダイヤモンドを用いた電子装置の作製方法。

IPC (1件)：

H01L 33/00 A 7376-4M

前のページに戻る