特許
J-GLOBAL ID:201103002508219756
二次元的なむらの検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
県 浩介
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-204247
公開番号(公開出願番号):特開平3-068807
特許番号:特許第2832373号
出願日: 1989年08月07日
公開日(公表日): 1991年03月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】試料面の二次元的なむらを画像として一次元撮像素子を垂直方向に走査させるか、または二次元撮像素子で撮像し、得られた映像信号において、ある幅を持った中間レベルを設定して、この幅内のレベルを同一レベルに変換した後、撮像データをグラフ上の高さのデータに変換し、この高さのデータを撮像における走査線毎に平行に少しずつずらせて、グラフ表示するようにしたことを特徴とする二次元的なむらの検査装置。
IPC (4件):
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 1/00
, H04N 7/18
FI (4件):
G01B 11/30 G
, G01N 21/88 Z
, H04N 7/18 C
, G06F 15/62 380
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭64-084138
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特開昭60-179639
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