特許

J-GLOBAL ID：201103002649762577

複製用スタンパーの製造方法

発明者： 村田 省蔵
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 樺山 亨 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-008847
公開番号（公開出願番号）：特開平2-190492
特許番号：特許第2901989号
出願日： 1989年01月18日
公開日（公表日）： 1990年07月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガラス基板にフォトリソグラフィーにより凹凸微細形状を形成し、導電性被膜を付与した後、ニッケル電鋳浴中に浸漬してスタンパーを得るようにした複製用スタンパーの製造方法において、上記ニッケル電鋳浴中での浸漬により発生する自然電極電位が参照電極に対して-130mv以上で電鋳複製を開始するようにしたことを特徴とする複製用スタンパーの製造方法。

IPC (3件)：

C25D 1/00 321 ,  C25D 21/12 ,  G11B 7/26 511

FI (3件)：

C25D 1/00 321 ,  C25D 21/12 D ,  G11B 7/26 511

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-055587
  
• 特開昭61-072366
  
• 特開昭56-022225