特許

J-GLOBAL ID：201103002711475083

光検出装置及び光伝送装置

発明者： 加藤 保英 ,  ▲高▼地 徹
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (2件)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-221010
公開番号（公開出願番号）：特開2011-069719
出願日： 2009年09月25日
公開日（公表日）： 2011年04月07日
要約：

【課題】光ファイバーを用いずに伝送する光検出装置及び光伝送装置を提供する。【解決手段】チャンバ2内の試料台5に試料4が載置される。電子線照射部1から楕円面鏡3の孔部30を通過して試料4の試料面に電子線が照射される。照射スポットに位置する試料4の試料面の一部が励起して散乱光を発する。散乱光は、楕円面鏡3の内面での反射により楕円面鏡3の2焦点と異なる位置に集光されて非散乱光に変換される。非散乱光は、チャンバ2の開口部24を気密封止しているコリメートレンズ21を通過して平行化され、チャンバ2外の分光部7へ伝送される。分光部7は、伝送された光を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

散乱光を発する試料が内部に配置されるチャンバと、光を検出する前記チャンバ外の光検出部とを備え、前記試料が発する散乱光を検出する光検出装置において、 前記散乱光を集光して非散乱光に変換する楕円面鏡と、 前記チャンバに設けられており、前記楕円面鏡により変換して得た非散乱光が通過するチャンバ開口部と、 該チャンバ開口部を気密封止しており、前記チャンバ開口部を通過する非散乱光を平行化して前記光検出部へ伝送するコリメートレンズと を備えることを特徴とする光検出装置。

IPC (7件)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/62 ,  G01N 21/63 ,  G01N 21/65 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/47 ,  G01N 23/225

FI (7件)：

G01N21/27 B ,  G01N21/62 A ,  G01N21/63 A ,  G01N21/65 ,  G01N21/64 Z ,  G01N21/47 Z ,  G01N23/225

Fターム (42件)：

2G001AA01 ,  2G001AA02 ,  2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001BA07 ,  2G001BA14 ,  2G001BA15 ,  2G001BA16 ,  2G001CA07 ,  2G001EA00 ,  2G001EA08 ,  2G001GA06 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G043AA03 ,  2G043CA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA01 ,  2G043EA03 ,  2G043EA10 ,  2G043EA11 ,  2G043EA14 ,  2G043GA01 ,  2G043GA07 ,  2G043GA08 ,  2G043GB01 ,  2G043GB08 ,  2G043HA01 ,  2G043HA03 ,  2G043JA01 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059DD15 ,  2G059EE02 ,  2G059EE06 ,  2G059EE07 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 試料測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-150952   出願人：株式会社堀場製作所
• 特開昭63-149528
  
• ホログラムの露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-137188   出願人：旭硝子株式会社
• 特開平1-235836