特許
J-GLOBAL ID：201103002798792110
照明装置及びそれを備えた露光装置並びに露光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-329690
公開番号（公開出願番号）：特開平3-016114
特許番号：特許第2679319号
出願日： 1989年12月21日
公開日（公表日）： 1991年01月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】レーザ光源から射出されたビームを、該ビームの断面における強度分布をほぼ均一に整える強度分布均一化手段を介して照明対象に照射する照明装置において、前記ビームを互いに直交する偏光の2光束に分離するとともに、各々の偏光による前記照明対象の被照射面上での干渉パターンを相対的に2分の1周期ずらす偏光手段を備えたことを特徴とする照明装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 515 B
, H01L 21/30 515 D
