特許
J-GLOBAL ID：201103002864838762
イオン源およびそれを用いたイオンビーム照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 恵二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031375
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231885
特許番号：特許第3511930号
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 多数のイオン引出し孔をそれぞれ有する1枚以上の電極を有していてプラズマからイオンビームを引き出す引出し電極系を備えるイオン源において、前記引出し電極系を構成する各電極は、平面形状が矩形をしており、かつ電極板を下に凸のかまぼこ状に曲げた形状をしていることを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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