特許

J-GLOBAL ID：201103002939125899

ポジ型レジスト組成物

発明者： 佐藤 健一郎 ,  児玉 邦彦
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-149620
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341539
特許番号：特許第4067284号
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (A)脂肪族環状炭化水素基を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、及び (B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物 を含有するポジ型レジスト組成物において、 (A)の樹脂が、下記一般式(I)で表される繰返し構造単位、一般式(II)で表される繰返し構造単位、及び一般式(III)で表される繰返し構造単位を有する樹脂であり、(B)の化合物が、下記一般式(Ia)又は一般式(IIb)で表される化合物であることを特徴とするポジ型レジスト組成物。 式(I)中: R11',R12'は、各々独立に、水素原子、シアノ基、ハロゲン原子、又はアルキル基を表す。 Z'は、結合した2つの炭素原子(C-C)を含み、置換基を有していてもよい脂環式構造を形成するための原子団を表す。 一般式(II)中: Z2は、-O-又は-N(R41)-を表す。ここでR41は、水素原子、水酸基、アルキル基、ハロアルキル基、又は-OSO2-R42を表す。R42は、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。 一般式(III)中: R91は、水素原子、低級アルキル基、ハロゲン原子又は-CNを表す。 X5は、-O-、-S-、-NR93-、又は-NR93SO2-を表す。R93は、水素原子、鎖状又は環状アルキル基を表す。 Bは、単結合または連結基を表す。 R92は、水素原子、鎖状又は環状アルキル基、アルコキシ基、水酸基、カルボキシ基、シアノ基、-COOR94、又は下記一般式(IV)〜(X)のいずれかで表される基を表す。R94は、水素原子、または鎖状又は環状アルキル基を表す。 -N+(R95)(R96)(R97)・X- (VIII) -R98-A50-R99 (IX) -SO3R100 (X) 式(IV)において、Ra1、Rb1、Rc1、Rd1、及びRe1は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。m、nは各々独立に0〜3の整数を表し、m+nは、2以上6以下である。 式(V-1)〜(V-4)において、R1b〜R5bは、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表す。R1b〜R5bの内の2つは、結合して環を形成してもよい。 式(VII)において、R1d〜R8dは、各々独立に、水素原子又はアルキル基を表す。Rd0は、水素原子、鎖状または環状アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。mは、1〜10の整数を表す。 式(VIII)中、R95〜R97は、各々独立に、水素原子、鎖状または環状アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はアラルキル基を表す。但し、R95〜R97は互いに結合して非芳香環、芳香環を形成しても良い。X-は、R-SO3-を表す。Rは脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素基を表す。 式(IX)中、R98は、単結合、アルキレン基、アリーレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表す。 A50は、下記に示す官能基のいずれかを表す。 R99は、水素原子またはアルキル基を表す。 式(X)中、R100は、鎖状又は環状アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。 (上記式中、R1〜R5は、各々独立に、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素基を表す。但し、R1〜R3の内の2個は、互いに結合して環を形成してもよく、また、R4とR5とは、互いに結合して環を形成してもよい。X-は、下記のアニオンのいずれかを表す。) (上記式中、R6〜R10は、各々独立に、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基を表す。但し、R6とR7とは、互いに結合して環を形成してもよく、また、R8〜R10の内の2個は、互いに結合して環を形成してもよい。)

IPC (11件)：

G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  C08F 220/10 ( 200 6.01) ,  C08F 232/00 ( 200 6.01) ,  C08F 234/00 ( 200 6.01) ,  C08K 5/16 ( 200 6.01) ,  C08K 5/34 ( 200 6.01) ,  C08K 5/36 ( 200 6.01) ,  C08L 33/04 ( 200 6.01) ,  C08L 45/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (13件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  C08F 220/10 ,  C08F 232/00 ,  C08F 234/00 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/34 ,  C08K 5/36 ,  C08L 33/04 ,  C08L 45/00 ,  H01L 21/30 502 R