特許

J-GLOBAL ID：201103003002459275

低ビーム発散となる,低エネルギービームの抽出および減速

発明者： ケラー,ジョン・エイチ
出願人/特許権者： バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド ,  ケーツー・ケラー・コンサルティング・リミテッド・ライアビリティー・カンパニー
代理人 (2件)： 竹内 澄夫 ,  堀 明▲ひこ▼
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-544749
特許番号：特許第3844301号
出願日： 2001年11月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】最終イオンビームエネルギーをもつビームプラズマを有し,ビーム軸線を有する低エネルギーイオンビームを生成するためのイオン光学装置であって, イオンビームを加速する加速電極と, イオンビームを減速するための,前記加速電極の下流にある減速電極であって,ビームプラズマ中の熱イオンに電位バリアーを与え,熱イオンが加速電極に到達することを防止するべく選択された電圧をもつ,ところの減速電極と, ビームプラズマ中の電子が前記減速電極に到達することを防止するための,前記減速電極の下流にあるイオン光学要素と, を含み, 前記イオン光学要素は,前記減速電極の近傍におけるビーム軸線上の電位が,ビームプラズマの電位に関して,少なくとも僅かに負となるように選択される電圧を有する電子はねのけ電極を含む,ところのイオン光学装置。

IPC (1件)：

H01J 37/317 ( 200 6.01)

FI (1件)：

H01J 37/317 Z