特許
J-GLOBAL ID：201103003043272716
静電型電気音響変換器用振動膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中尾 直樹
, 中村 幸雄
, 草野 卓
, 稲垣 稔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-205934
公開番号（公開出願番号）：特開2003-023698
特許番号：特許第3722360号
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】合成樹脂よりなる極薄フィルムの表面にチタニウム薄膜をスパッタリングにより成膜してこのチタニウム薄膜の表面にニッケル薄膜をスパッタリングにより成膜積層し、或いはニッケル薄膜をスパッタリングにより成膜してこのニッケル薄膜の表面にチタニウム薄膜をスパッタリングにより成膜積層したことを特徴とする静電型電気音響変換器用振動膜。
IPC (4件)：
H04R 19/00
, C23C 14/14
, H04R 7/02
, H04R 31/00
H04R 19/00
, C23C 14/14 G
, H04R 7/02 B
, H04R 31/00 A
