特許

J-GLOBAL ID：201103003092283286

感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜の形成方法、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置

発明者： 疋田 政憲
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 野口 恭弘 ,  深海 明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-053087
公開番号（公開出願番号）：特開2011-209719
出願日： 2011年03月10日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】解像性に優れ、かつ、加熱処理(ポストベーク工程)前後のコンタクトホール径の寸法安定性に優れた硬化膜を得ることができる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(成分A)酸分解性基で保護されたカルボキシ基及び/又は酸分解性基で保護されたフェノール性水酸基を有する構成単位(1)と、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位(2)と、を含有する共重合体、(成分B)光酸発生剤、(成分C)下記式(I)で表される熱酸発生剤、並びに、(成分D)溶剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(成分A)酸分解性基で保護されたカルボキシ基及び/又は酸分解性基で保護されたフェノール性水酸基を有する構成単位(1)と、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位(2)と、を含有する共重合体、 (成分B)光酸発生剤、 (成分C)下記式(I)で表される熱酸発生剤、並びに、 (成分D)溶剤、を含有することを特徴とする 感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/22 ,  H05B 33/10 ,  C08F 220/32 ,  C08F 220/28

FI (9件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  H05B33/10 ,  C08F220/32 ,  C08F220/28

Fターム (65件)：

2H096AA27 ,  2H096BA11 ,  2H096EA02 ,  2H096EA04 ,  2H096EA23 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H125AE04P ,  2H125AE13P ,  2H125AE14P ,  2H125AE18P ,  2H125AF51P ,  2H125AF52P ,  2H125AF54P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AJ03Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ49Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AM94P ,  2H125AN29P ,  2H125AN31P ,  2H125AN39P ,  2H125AN49P ,  2H125AN58P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125BA11P ,  2H125BA22P ,  2H125BA24P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA22 ,  2H125CB02 ,  2H125CB03 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC05 ,  3K107CC33 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107DD90 ,  3K107DD97 ,  3K107GG28 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09R ,  4J100BA02P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC54Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA37