特許

J-GLOBAL ID：201103003131139511

検査装置と検査方法

発明者： 高山 真人 ,  田中 隆志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-325155
公開番号（公開出願番号）：特開平3-185848
特許番号：特許第2830235号
出願日： 1989年12月15日
公開日（公表日）： 1991年08月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】不良品が配置され、X方向駆動手段によりX方向に移動される不良品配置部と、被検査物が多数配置され、上記X方向駆動手段によりX方向に移動されるところの良品配置部を兼ねる被検査物配置部と、第1の検査部と、第2の検査部とをY方向に配置し、上記各部分の上方をY方向駆動手段によりY方向に移動される保持具移動手段を設け、上記保持具移動手段に回動体を回動可能に保持し、上記回動体の回動中心を挟んで反対側の位置に一対の被検査物保持具を互いに上記第1の検査部と第2の検査部との間の距離と等しい距離離間するように設けたことを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/66 G ,  G01R 31/26 G ,  H01L 21/66 D ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭64-086075