特許
J-GLOBAL ID：201103003224371147
チャンバ装置におけるターゲット軌道を計測及び制御する装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-111286
公開番号（公開出願番号）：特開2011-003887
出願日： 2010年05月13日
公開日（公表日）： 2011年01月06日
要約：
【課題】LPP光源のチャンバ装置において、ターゲット噴射ノズルから噴射される液滴ターゲットの噴射方向が所定の噴射方向から傾いた場合でも、ターゲット噴射ノズルの位置又は角度を調整してEUV光の安定供給を維持することができるターゲット軌道計測及び制御装置を提供する。【解決手段】この装置は、ターゲット噴射ノズルの位置と角度との内の少なくとも一方を調整するノズル調整機構と、ターゲット軌道を計測することにより、ターゲット軌道に関する軌道情報を取得するターゲット軌道計測部と、軌道情報によって表されるターゲット軌道と所定のターゲット軌道との間の角度偏差に関する値を求めるターゲット軌道角度検出部と、角度偏差に関する値に基づいて、液滴ターゲットが所定のレーザ光照射位置を通過するようにノズル調整機構を制御するノズル調整コントローラとを含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ターゲット噴射ノズルから供給される液滴ターゲットに外部ドライバレーザからのドライバレーザ光を照射することにより生成されるプラズマから極端紫外光を発生するチャンバ装置内部のターゲット軌道を計測及び制御する装置であって、
前記ターゲット噴射ノズルの位置と角度との内の少なくとも一方を調整するノズル調整機構と、
前記ターゲット噴射ノズルから供給される液滴ターゲットが形成するターゲット軌道を計測することにより、ターゲット軌道に関する軌道情報を取得するターゲット軌道計測部と、
前記ターゲット軌道計測部によって取得された軌道情報によって表されるターゲット軌道と所定のターゲット軌道との間の角度偏差に関する値を求めるターゲット軌道角度検出部と、
前記ターゲット軌道角度検出部によって求められた角度偏差に関する値に基づいて、液滴ターゲットが所定の位置を通過するように前記ノズル調整機構を制御するノズル調整コントローラと、
を具備する装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 531S
, H05G1/00 K
4C092AA06
, 4C092AA15
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD05
, 4C092BD16
, 4C092CC03
, 4C092CE07
, 4C092CJ19
, 5F046GC03
