特許

J-GLOBAL ID：201103003343296331

流体温度制御装置

発明者： 伊藤 勝美
出願人/特許権者： 小松エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016067
公開番号（公開出願番号）：特開2000-213810
特許番号：特許第3919962号
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】加熱ユニット(10)に供給する電力を制御して、該加熱ユニット(10)を通過した流体(12)の温度を制御する流体温度制御装置において、 前記加熱ユニット(10)に供給する流体(12)の流量を制御する流量制御手段(M10)と、 前記流量の変化量と変化タイミングを前記流量制御手段(M10)に指示する流量変化指示手段(M12)と、 前記流量変化指示手段(M12)が指示した変化量と変化タイミングに基づいて、前記加熱ユニット(10)に供給する電力の変化量と変化タイミングを決定し、該加熱ユニット(10)に供給する電力を制御する供給電力制御手段(M14)と、 前記供給電力制御手段(M14)が決定した前記電力の変化タイミングを操作して、前記加熱ユニット(10)の応答遅れを補償する電力変化タイミング操作手段(M16)と を具備することを特徴とする流体温度制御装置。

IPC (2件)：

F24H 1/10 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (3件)：

F24H 1/10 302 D ,  F24H 1/10 C ,  H01L 21/304 648 G