特許

J-GLOBAL ID：201103003432397877

硬化されたパターンの製造方法

発明者： 太田 喜之
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-047749
公開番号（公開出願番号）：特開2011-185966
出願日： 2010年03月04日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：

【課題】より低温で耐薬品性に優れた硬化されたパターンを製造することができる。また、この硬化されたパターンの製造方法を利用することにより、より耐熱性の低い基板等を用いても、高品質の表示装置等を得ることが可能となる。【解決手段】樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶剤を含む感光性樹脂組成物から得られたパターンを、50°C〜180°Cの条件下で、10mJ/cm2〜10000mJ/cm2露光する硬化されたパターンの製造方法において、樹脂が、炭素数2〜4の環状エーテルを有する単量体に由来する構造単位を含む樹脂である硬化されたパターンの製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶剤を含む感光性樹脂組成物から得られたパターンを、50°C〜180°Cの条件下で、10mJ/cm2〜10000mJ/cm2露光する硬化されたパターンの製造方法において、樹脂が、炭素数2〜4の環状エーテルを有する単量体に由来する構造単位を含む樹脂である硬化されたパターンの製造方法。

IPC (4件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/38 ,  C08F 220/28

FI (4件)：

G03F7/033 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/38 501 ,  C08F220/28

Fターム (46件)：

2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA02 ,  2H125AC36 ,  2H125AD02 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AE17P ,  2H125AM22P ,  2H125AM32P ,  2H125AN11P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN58P ,  2H125AN59P ,  2H125AN74P ,  2H125BA02P ,  2H125BA13P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  4J100AB02R ,  4J100AB07P ,  4J100AE09P ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL04R ,  4J100AL05R ,  4J100AL08P ,  4J100AL09R ,  4J100AL10P ,  4J100AM48R ,  4J100BC43P ,  4J100BC53P ,  4J100BC54P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA37