特許
J-GLOBAL ID：201103003499819890
基板の移送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-168620
公開番号（公開出願番号）：特開平3-036114
特許番号：特許第2579818号
出願日： 1989年06月30日
公開日（公表日）： 1991年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】真空容器の側壁に被処理基板を出し入れするゲートバルブを設ける一方、該真空容器内部に先端部に基板搭載部を有する屈伸および回転可能な搬送アームを配設し、この搬送アームにより前記ゲートバルブを通して被処理基板を出し入れするよう構成された基板の移送装置において、前記真空容器を、内部を環状に繰り抜いた一体の金属部材で構成するとともに、該真空容器の側壁内面に前記搬送アームの屈曲時の回転軌跡に沿った円弧状の凹部を形成したことを特徴とする基板の移送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/00 A
, B25J 21/00
