窒化アルミニウム基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-170466
公開番号（公開出願番号）：特開平3-037162
特許番号：特許第2793269号
出願日： 1989年06月30日
公開日（公表日）： 1991年02月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】窒化アルミニウムを主成分とすると共に矩形シート状をなす複数の成形体(7)を、不活性雰囲気下で、かつ焼成温度よりも低い温度で仮焼した後、その成形体を、その辺縁が互いに接触した状態でホットプレス機のキャビティ(5)内に縦横に配列し、かつ縦横に配列された成形体(7)の外周縁と前記キャビティ(5)の内壁との間に、前記成形体(7)と略同一の材料からなり、かつ1.6g/cm3以上の密度を有するスペーサ(9)を配置した状態で、成形体(7)とスペーサ(9)とを同時に加圧及び加熱して、成形体(7)を焼結させることを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。

IPC (3件)：

C04B 35/581 , C04B 35/645 , H05K 1/03 610

FI (3件)：

C04B 35/58 104 U , H05K 1/03 610 E , C04B 35/64 N

前のページに戻る