有機化合物膜の除去方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-083585
公開番号（公開出願番号）：特開平2-262335
特許番号：特許第3034259号
出願日： 1989年03月31日
公開日（公表日）： 1990年10月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】有機化合物膜が表面に形成された被処理基体を反応容器内に収容し、少なくとも酸素元素を含むガスを用いて、該有機化合物膜を除去する有機化合物膜の除去方法において、予め前記有機化合物膜の表層又は表層に付着した付着物をスパッタにより除去した後、前記有機化合物膜をFとH2O、若しくはアルコールとの反応を用いるプラズマ中での処理或いはダウンフロー型の処理により除去することを特徴とする有機化合物膜の除去方法。

IPC (2件)：