ホトマスクの検査装置及びホトマスクの検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-308770
公開番号（公開出願番号）：特開平3-168640
特許番号：特許第3067142号
出願日： 1989年11月28日
公開日（公表日）： 1991年07月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ホトマスク上の2個のチップパターンのそれぞれ同じ位置を透過する透過光を別々に検出する2個の光検出器と、該2個の光検出器の出力の比較を含む信号処理によりホトマスクのパターン欠陥を検出する欠陥検出手段とを有し、該欠陥検出手段は該2個の光検出器の出力差の程度に応じて透明パターンとなるべき領域に存在する半透明異物を透明パターンとなるべき領域に存在する不透明欠陥及び遮光パターンとなるべき領域に存在する透明欠陥と区別して検出するものであることを特徴とするホトマスクの検査装置。

IPC (3件)：