特許
J-GLOBAL ID:201103003732387768

処理液の補充方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石井 陽一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-273304
公開番号(公開出願番号):特開平3-134666
特許番号:特許第2588781号
出願日: 1989年10月20日
公開日(公表日): 1991年06月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】複数のパーツ剤よりなる処理液を処理槽へ補充する方法であって、複数のパーツ剤収納空間が一体化されている薬剤容器と、複数のパーツ剤貯留部が一体化されていて、各パーツ剤貯留部間の容積比率が前記処理液中における各パーツ剤の混合比率に対応しているストックタンクとを用い、前記混合比率に応じた量の各パーツ剤を、前記薬剤容器の各パーツ剤収納空間から前記ストックタンクの各パーツ剤貯留部にそれぞれ投入し、前記ストックタンクの各パーツ剤貯留部から前記混合比率に応じた量の各パーツ剤を取り出し、これらと希釈液とを前記処理槽に供給することを特徴とする処理液の補充方法。
IPC (1件):
G03D 3/06
FI (1件):
G03D 3/06 Z

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