特許
J-GLOBAL ID：201103003884184080
単結晶引上げ機の不活性ガス排気系のクリーニング装置及びそのクリーニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019341
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219591
特許番号：特許第3367910号
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 単結晶引上げ機(11)に接続された排気管(12)と、前記排気管(12)を通して前記引上げ機(11)に供給された不活性ガスを吸引する真空ポンプ(13)とを有する単結晶引上げ機の不活性ガス排気系において、前記引上げ機(11)と前記真空ポンプ(13)との間の排気管(12)に設けられたクリーニング用取出し口(16c)と、前記クリーニング用取出し口(16c)に一端が接続されたクリーニング用パイプ(18)と、前記クリーニング用パイプ(18)の他端に接続され前記引上げ機(11)内が大気に開放された状態で前記排気管(12)内の不活性ガス又は大気を吸引するクリーニング用吸引ポンプ(19)と、前記排気管(12)と前記吸引ポンプ(19)の間のクリーニング用パイプ(18)に設けられたクリーニング用粉体分離器(20)とを備え、前記吸引ポンプ(19)の吸引流量が調整可能に構成されたことを特徴とするクリーニング装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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