電磁アクチュエータ、該電磁アクチュエータの作製方法、該電磁アクチュエータを用いた光偏向器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180907
公開番号（公開出願番号）：特開2002-010612
特許番号：特許第3492288号
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】固定子に対して可動子を支持手段によって平行移動可能に支持するように構成した電磁アクチュエータであって、前記固定子がコア部にコイルを周回させた固定コアによって形成され、かつ前記可動子がコア部にコイルを周回させた可動コアによって形成されると共に、これら固定コアと可動コアとを空隙を介して磁気的に結合して、これら固定コアと可動コアとが前記磁気的に結合される位置において、前記固定子に対する前記可動子の平行移動方向に該固定子及び可動子がそれぞれ凹凸部を有し、これらの凹凸部が互いに空隙を介して噛み合うように構成し、前記固定コアまたは前記可動コアのコア部に周回させた少なくともいずれか一方のコイルに、電流印加手段を介して通電して前記固定子に対して前記可動子が平行移動するように構成したことを特徴とする電磁アクチュエータ。

IPC (6件)：

H02K 33/12 , B81C 1/00 , G02B 26/08 , G02B 26/10 104 , G02B 26/10 105 , H01F 7/16

FI (7件)：

H02K 33/12 , B81C 1/00 , G02B 26/08 C , G02B 26/08 E , G02B 26/10 104 Z , G02B 26/10 105 Z , H01F 7/16 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

特公昭37-012561
光学的スキャナ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-091111 出願人：オリンパス光学工業株式会社

審査官引用 (2件)

特公昭37-012561
光学的スキャナ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-091111 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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