特許
J-GLOBAL ID：201103004067499238
変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-154168
公開番号（公開出願番号）：特開平3-018720
特許番号：特許第2603338号
出願日： 1989年06月16日
公開日（公表日）： 1991年01月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】透明基板の一方の基板面上にレリーフ型回折格子を形成した光学式スケールを光で照明し、該レリーフ型回折格子で生じた回折光を用いて干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することにより該光学式スケールの変位を測定する装置において、該レリーフ型回折格子上に形成した反射膜と、該透明基板の他方の基板面側から該光学式スケールを照明して該回折光を生じせしめる照明手段とを有し、該透明基板の屈折率をn、該光の波長をλ、mを整数(m≧0)とした時に、該レリーフ型回折格子の溝の深さhが、(λ/n)×(m/2+0.199)≦h≦(λ/n)×{(m+1)/2-0.199}なる条件を満たすことを特徴とする変位測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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