特許

J-GLOBAL ID：201103004264878577

硬質カーボン膜製造方法

発明者： 岡田 繁信
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-285601
公開番号（公開出願番号）：特開平3-146665
特許番号：特許第2808741号
出願日： 1989年10月31日
公開日（公表日）： 1991年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】所定形状の基板上にシリコン窒化膜からなる中間層を形成することと、前記中間層上にダイヤモンド状カーボン膜を形成することと、前記ダイヤモンド状カーボン膜の形成された基板をエッチング液に浸して前記中間層を除去し所定形状のダイヤモンド状カーボン膜を得ることとを含む硬質カーボン膜製造方法。

IPC (5件)：

C23C 16/22 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/58 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/56

FI (5件)：

C23C 16/22 ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/58 Z ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/56

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭59-143498