特許

J-GLOBAL ID：201103004300276708

半導体装置及びその製造方法

発明者： 中村 成志 ,  粉谷 直樹 ,  玉置 徳彦
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (19件)： 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也 ,  河部 大輔 ,  長谷川 雅典 ,  岩下 嗣也 ,  福本 康二 ,  前田 亮 ,  間脇 八蔵 ,  松永 裕吉 ,  川北 憲司 ,  岡澤 祥平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-108274
公開番号（公開出願番号）：特開2011-238745
出願日： 2010年05月10日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：

【課題】ゲート幅が互いに異なる第1,第2のMISトランジスタを備えた半導体装置において、第1,第2のMISトランジスタの閾値電圧を、所望の閾値電圧に制御する。【解決手段】半導体装置は、第1,第2のMISトランジスタを備えた半導体装置である。第1のMISトランジスタは、第1の高誘電率絶縁膜15aを有する第1のゲート絶縁膜15Aと、第1のゲート電極20Aとを備えている。第2のMISトランジスタは、第2の高誘電率絶縁膜15bを有する第2のゲート絶縁膜15Bと、第2のゲート電極20Bとを備えている。第1,第2のゲート絶縁膜は、調整用金属を含む。第1のMISトランジスタの第1のゲート幅W1は、第2のMISトランジスタの第2のゲート幅W2よりも小さい。第1のゲート絶縁膜中における調整用金属の平均調整用金属濃度は、第2のゲート絶縁膜中における調整用金属の平均調整用金属濃度に比べて低い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1のMISトランジスタ及び第2のMISトランジスタを備えた半導体装置であって、 前記第1のMISトランジスタは、 半導体基板における第1の活性領域上に形成され、第1の高誘電率絶縁膜を有する第1のゲート絶縁膜と、 前記第1のゲート絶縁膜上に形成された第1のゲート電極とを備え、 前記第2のMISトランジスタは、 前記半導体基板における第2の活性領域上に形成され、第2の高誘電率絶縁膜を有する第2のゲート絶縁膜と、 前記第2のゲート絶縁膜上に形成された第2のゲート電極とを備え、 前記第1のゲート絶縁膜及び前記第2のゲート絶縁膜は、それぞれ調整用金属を含み、 前記第1のMISトランジスタの第1のゲート幅は、前記第2のMISトランジスタの第2のゲート幅よりも小さく、 前記第1のゲート絶縁膜中における前記調整用金属の平均調整用金属濃度は、前記第2のゲート絶縁膜中における前記調整用金属の平均調整用金属濃度に比べて低いことを特徴とする半導体装置。

IPC (9件)：

H01L 21/823 ,  H01L 27/088 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/283 ,  H01L 21/28 ,  H01L 27/11 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/10

FI (7件)：

H01L27/08 102C ,  H01L29/58 G ,  H01L21/283 C ,  H01L21/28 301R ,  H01L27/10 381 ,  H01L27/10 481 ,  H01L27/08 102B

Fターム (70件)：

4M104AA01 ,  4M104BB30 ,  4M104CC05 ,  4M104DD43 ,  4M104DD63 ,  4M104EE03 ,  4M104EE12 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  4M104HH20 ,  5F048AA07 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC01 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB03 ,  5F048BB05 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB14 ,  5F048BB18 ,  5F048BC06 ,  5F048BD04 ,  5F048BD10 ,  5F048BE03 ,  5F048BE04 ,  5F048BG13 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F083BS03 ,  5F083BS05 ,  5F083BS09 ,  5F083BS12 ,  5F083BS15 ,  5F083BS17 ,  5F083BS21 ,  5F083BS24 ,  5F083BS27 ,  5F083BS41 ,  5F083BS44 ,  5F083GA09 ,  5F083GA11 ,  5F083GA27 ,  5F083JA12 ,  5F083JA40 ,  5F083NA01 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR33 ,  5F083PR34 ,  5F083PR36 ,  5F083PR42 ,  5F083PR43 ,  5F083PR44 ,  5F083PR45 ,  5F083PR46 ,  5F083PR52 ,  5F083PR53 ,  5F083PR54 ,  5F083PR55 ,  5F083PR56 ,  5F083ZA07