特許

J-GLOBAL ID：201103004404454217

形状測定装置

発明者： 伊藤 由佳 ,  藤澤 晴彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-101289
公開番号（公開出願番号）：特開2011-232104
出願日： 2010年04月26日
公開日（公表日）： 2011年11月17日
要約：

【課題】振動の影響による3次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータと、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部34と、プローブの振れを検出する振れ検出部28と、パッシブ補正およびアクティブ補正を行う補正部と、振れ検出部28に検出された振れに基づいて、パッシブ補正およびアクティブ補正のうちいずれの補正を行うかを決定する処理部32とを備えて構成される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被測定物をライン光で照明する照明部と、 前記照明部に照明された前記被測定物を撮像する撮像部と、 前記照明部と前記被測定物とを相対移動させる相対移動部と、 前記照明の状態と前記撮像の状態から前記被測定物の形状を測定する測定部と、 前記照明部および前記撮像部の少なくとも一方の振れを検出する振れ検出部と、 前記振れ検出部に検出された振れに基づいて前記測定の補正を行う第1補正部と、 前記振れ検出部に検出された振れに基づいて前記照明部による被照明位置の補正を行う第2補正部と、 前記振れ検出部に検出された振れに基づいて、前記第1補正部による補正および前記第2補正部による補正のうちいずれの補正を行うかを決定する決定部とを備えて構成されることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (12件)：

2F065AA31 ,  2F065AA53 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF36 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM01 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31