特許

J-GLOBAL ID：201103004534446160

半導体多層膜の分光計測方法および分光計測装置

発明者： 竹内 日出雄 ,  山本 佳嗣
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (2件)： 青山 葆 ,  石野 正弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-009515
公開番号（公開出願番号）：特開2004-219371
特許番号：特許第4031712号
出願日： 2003年01月17日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】発光スペクトル測定時に半導体多層膜の試料を励起する励起光を発生し、反射スペクトル測定時に前記の試料への外部変調光を発生する励起光源と、 反射スペクトル測定のためのプローブ光を発生する白色光源と、 発光スペクトル測定時に前記の試料からの発光を分光し、反射スペクトル測定時に白色光源からのプローブ光を分光して試料に入射する分光器と、 発光スペクトル測定時に前記の分光器から出射された光を検出し電気信号に変換する第1検出器と、 反射スペクトル測定時に励起光源により外部変調光が照射され前記の分光器により分光されたプローブ光が入射された前記の試料からの反射光を検出し電気信号に変換する第2検出器と、 発光スペクトル測定時に前記の分光器からの光を第1検出器の方に導き、反射スペクトル測定時に白色光源からの光を前記の分光器の方に導く光軸切り替え部材と、 反射スペクトル測定時に前記の光軸切り替え部材に白色光源からの光を前記の分光器の方に導かせて、第1検出器により検出された電気信号を収集し、発光スペクトル測定時に前記の光軸切り替え部材に前記の分光器からの光を第1検出器の方に導かせて、第2検出器により検出された電気信号を収集する制御器と を備える半導体多層膜の分光計測装置。

IPC (5件)：

G01N 21/27 ( 200 6.01) ,  G01B 11/06 ( 200 6.01) ,  G01N 21/00 ( 200 6.01) ,  G01N 21/64 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G01N 21/27 B ,  G01B 11/06 Z ,  G01N 21/00 B ,  G01N 21/64 Z ,  H01L 21/66 L ,  H01L 21/66 P