特許

J-GLOBAL ID：201103004554126412

露光装置

発明者： 太田 裕久 ,  森 真起子 ,  小澤 邦貴 ,  鵜澤 俊一 ,  野瀬 哲志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-325867
公開番号（公開出願番号）：特開平3-187211
特許番号：特許第2808152号
出願日： 1989年12月18日
公開日（公表日）： 1991年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被露光基板上に形成された基板上AAマークと原版上に形成された原版上AAマークとの位置関係より被露光基板と原版との相対位置関係を検出するAA検出手段と、AA検出に先立って被露光面の理想露光平面からの位置ずれを検出するAF検出手段と、前記AA検出手段のAA検出値を、前記AF検出手段のAF検出値に基づいて補正する補正手段とを具備することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 511 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 531 J