特許
J-GLOBAL ID:201103004686434477

印刷原板を処理するための装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 正年
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-506483
特許番号:特許第2568447号
出願日: 1989年05月26日
請求項(抜粋):
【請求項1】片面側に感光性ポリマー被覆を有し該被覆が露光により予めパターン代されている原板を処理するための装置であって、前記ポリマー被覆された原板を装置を通して移送する手段と、水スプレーノズルと、前記移送手段に支持されている前記原板の前記被覆側に水がスプレーされるように前記ノズルを指向させて前記移送手段の上方に可動的に支持するノズルキャリッジと、前記原板が装置内を前記移送手段で移動する際に前記原板の移動方向に直交して前記ノズルキャリッジを定速度で往復運動させる往復運動手段と、約3.445〜6.89MPa(500〜1000lb/in2)の圧力のもとに前記水スプレーノズルに水を供給するポンプシステム、とを備えたことを特徴とする印刷原板を処理するための装置。
IPC (2件):
G03F 7/30 501 ,  G03F 7/00 502
FI (2件):
G03F 7/30 501 ,  G03F 7/00 502
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭59-018946
  • 特開昭50-099325
  • 特公昭47-032688
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