特許
J-GLOBAL ID：201103004961531097
面接触プローブ及び電気的処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
工藤 宣幸
, 若林 裕介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-063014
公開番号（公開出願番号）：特開2011-196791
出願日： 2010年03月18日
公開日（公表日）： 2011年10月06日
要約：
【課題】長尺な電極に対してその表面を傷つけることなく長手方向に均一な電気的接触を行わせる。【解決手段】相手側電極に対して電圧印加や電流測定等によって電気的処理を行うために相手側電極に電気的に接触する面接触プローブ及びそれを用いた電気的処理装置である。面接触プローブは、導電性を有し相手側電極に臨ませて配設されるプローブ支持体と、当該プローブ支持体に一体的に設けられ前記相手側電極に弾性的に接触される弾性層と、少なくとも当該弾性層の表面に設けられて前記相手側電極に電気的に接触される導電層とを備え、前記プローブ支持体が帯状に構成され、前記弾性層が中空の弾性凸条で構成された。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
相手側電極に対して電圧印加や電流測定等によって電気的処理を行うために相手側電極に電気的に接触するプローブであって、
導電性を有し相手側電極に臨ませて配設されるプローブ支持体と、
当該プローブ支持体に一体的に設けられ前記相手側電極に弾性的に接触される弾性層と、
少なくとも当該弾性層の表面に設けられて前記相手側電極に電気的に接触される導電層とを備え、
前記プローブ支持体が帯状に構成され、
前記弾性層が中空の弾性凸条で構成されたことを特徴とする面接触プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R1/067 C
, H01L31/04 K
2G011AA03
, 2G011AA10
, 2G011AA15
, 2G011AB01
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AC21
, 2G011AE03
, 2G011AE11
, 5F151KA09
