特許
J-GLOBAL ID：201103005105421554
測定方法および測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-243906
公開番号（公開出願番号）：特開2002-054921
特許番号：特許第3818628号
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定物の表面を測定する測定方法において、
第1の走査パターンで前記被測定物を測定する第1の測定段階と、
第1の走査パターンと異なる第2の走査パターンで、第1の走査パターンよりも短い測定間隔で前記被測定物を測定する第2の測定段階と、
前記第1の走査パターンと前記第2の走査パターンの共通測定位置における第2の測定結果を、複数の測定結果断片に分割し測定結果断片を得る段階と、
該測定結果断片に含まれる第2の測定の結果を、第2の走査パターンにおける走査領域において補間する第2の補間関数を計算する段階と、
前記測定結果断片内での第1の測定の結果を補間する第1の補間関数を、第1の走査パターンにおける走査領域において計算する段階と、
前記測定結果断片に該第1の補間関数と第2の補間関数との差分を加えて新たな測定結果を計算する段階と
を有することを特徴とする測定方法。
IPC (2件)：
G01B 21/20 ( 200 6.01)
, G01B 21/00 ( 200 6.01)
G01B 21/20 101
, G01B 21/00 G
