単分子吸着膜の累積方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-052282
公開番号（公開出願番号）：特開平2-232232
出願日： 1989年03月03日
公開日（公表日）： 1990年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一方の末端基が、クロロシリル基で、かつ、他方の末端基がクロルメチル基である吸着用有機分子を用い、表面に水酸基が現われている被吸着体と結合することを特徴とする単分子吸着膜の累積方法。

IPC (7件)：

C08G 77/24 NUH , B01J 19/00 8822-4G , B01J 20/02 7202-4G , B05D 1/20 8720-4D , H01L 21/368 L , H05K 1/03 C 7011-4E , G01N 27/333

FI (1件)：

G01N 27/30 331 N

引用特許：

審査官引用 (2件)

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