曲面形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253356
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074425
特許番号：特許第3728151号
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】曲面形状をした被測定物の形状を測定する曲面形状測定装置において、該装置は、該被測定物をセットするベースと、該被測定物の被測定面に沿って一方向に移動可能な移動部材とから構成され、該移動部材には測定系として一本の光ビームを発生する光源とコーナーキューブと該光ビームの進む方向を検出する光検出手段とが、該測定系の光路が光源、被測定物、コーナーキューブ、被測定物、光検出手段という順になるように配置されており、該光検出手段により検出された該コーナーキューブを介して該被測定物の異なる2箇所を照射して得られる信号と、該移動部材の位置を記憶する記憶装置のデータとから、該被測定物の形状を計算する計算制御装置を有することを特徴とする曲面形状測定装置。

IPC (1件)：