特許
J-GLOBAL ID：201103005528088517
位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平3-257799
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241109
出願日： 1977年04月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を照明し、該基板からの該基板の位置に応じて変位する光を光位置検出手段の受光面上に入射せしめ、該受光面上の基準位置からの光入射位置のずれに応じた信号を検出し、該信号に応じて該基板を所定位置に位置決めする位置決め装置において、参照光を前記光位置検出手段の受光面上の基準位置に入射させることにより前記光位置検出手段の出力のドリフトを示す参照信号を検出し、該参照信号と前記信号を比較することにより前記基板の前記所定位置からのずれを検出し、位置決めを行なうことを特徴とする位置決め装置。
IPC (2件)：
G02B 27/42 9120-2K
, G02B 27/62 9120-2K
