特許
J-GLOBAL ID：201103005532400355
液濃度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 壽
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-305269
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125385
特許番号：特許第4058207号
出願日： 1999年10月27日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 濃度検出対象の液を担持する液担持部材と、該液担持部材に担持された液の層厚を規制して薄層化する層厚規制部材と、該液担持部材に所定向きの回転駆動力を伝達する駆動力伝達手段とを備え、液濃度検出用のデータとして、該液担持部材に担持された液の膜厚についての光学センサの出力データを用いて液濃度を検出する液濃度検出装置において、
上記液担持部材と層厚規制部材とを現像液液面から退避した退避位置と液濃度検出が可能な検出位置との間で移動させる移動手段を設け、
該移動手段による該液担持部材の移動に伴って生じる該駆動力伝達手段の駆動源側の駆動力伝達用部材からの該所定向きとは逆向きの駆動力が該液担持部材に伝わらないように該駆動力伝達手段を構成したことを特徴とする液濃度検出装置。
IPC (3件)：
G03G 15/11 ( 200 6.01)
, G01F 23/04 ( 200 6.01)
, G01N 21/59 ( 200 6.01)
G03G 15/10 115
, G01F 23/04 Z
, G01N 21/59 L
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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