特許

J-GLOBAL ID：201103005859103567

固体撮像素子

発明者： 山本 裕將
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 尾身 祐助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-190236
公開番号（公開出願番号）：特開平3-054862
特許番号：特許第2964488号
出願日： 1989年07月21日
公開日（公表日）： 1991年03月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体基板の表面領域内に形成された複数の受光部と、前記半導体基板の表面領域内に設けられた前記受光部で光電変換された信号電荷の電荷転送領域となる半導体領域と、前記半導体領域上に絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記ゲート電極上に絶縁膜を介して前記ゲート電極を覆って形成された、前記受光部上に開口を有する多結晶シリコン膜と、前記多結晶シリコン膜より上方において前記半導体領域上を除く半導体基板上に形成され、かつ、前記受光部端位置において側壁部分を有する層間絶縁膜と、前記多結晶シリコン膜上から前記層間膜上にかけて形成された前記受光部上に開口を有し、かつ、前記側壁部分と前記半導体領域上の前記多結晶シリコン膜に接して被着された遮光膜とを具備することを特徴とする固体撮像素子。

IPC (1件)：

H01L 27/148

FI (1件)：

H01L 27/14 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-177778
  
• 特開昭58-044867
  
• 特開昭63-244879