特許
J-GLOBAL ID：201103006003909516
スピンドル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031925
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225505
特許番号：特許第3724240号
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ハウジング内に回転自在に支持されたスピンドルを備え、前記ハウジング内に形成した通路及び前記スピンドル内に形成された通路を通じて当該スピンドルに取付けられたチャックに圧縮空気を供給するようにしたスピンドル装置において、前記チャック近傍における前記ハウジング及び前記スピンドル間に発塵防止用の磁性流体シール部を形成すると共に、前記磁性流体シール部と前記チャックとは反対側に形成された前記ハウジング内の通路から前記スピンドル内の通路に圧縮空気を受け渡す圧縮空気受け渡し部との間に当該圧縮空気受け渡し部から漏れる圧縮空気の圧力を低下させる複数のラビリンス部を形成し、当該複数のラビリンス部は、前記圧縮空気受け渡し部から前記磁性流体シールに向かう下流に行くに従って長さが短くなるように構成され、前記各ラビリンス部で圧力低下された圧縮空気を個別の排気通路を介して前記ハウジングの外周面に形成された個別の排気口から排気装置に排気することを特徴とするスピンドル装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
