特許
J-GLOBAL ID：201103006029663094
多層セラミック基板の製造方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-224952
公開番号（公開出願番号）：特開平3-088389
出願日： 1989年08月31日
公開日（公表日）： 1991年04月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】矩形の額縁状の枠材の一側面の4辺に、外形寸法が前記枠材の内法寸法よりも大きく厚さが前記枠材よりも小さな矩形のグリーンシートの4辺を接着剤を用いて貼り付ける第1の工程と、前記グリーンシートに所望の加工を施す第2の工程と、個別に前記枠材に保持された複数枚の前記グリーンシートの要部を個別に打ち抜いた後に重ね合わせる第3の工程と、打ち抜かれた積層状態の前記グリーンシートの前記要部を焼成する第4の工程と、前記枠材に残存する前記接着剤およびグリーンシート屑からなる異物を除去する第5の工程とからなり、前記第5の工程は、前記異物が付着した前記枠材を70°C〜80°Cの温度に加温された市水または工業用水からなる温水に浸漬する第6の工程と、前記枠材における前記異物の付着面に摺接する剥離刀および前記枠材の両面に摺接する一対の回転ブラシを用いて前記異物を剥離する第7の工程と、前記枠材に市水または工業用水からなる洗浄液を噴射する第8の工程と、前記枠材に気体を吹き付けて乾燥させる第9の工程とからなることを特徴とする多層セラミック基板の製造方法。
IPC (2件)：
H05K 3/46 H 6921-4E
, H05K 3/46 Y 6921-4E
