ワイヤボンダ用エアーテンション装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川雅男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-177517
公開番号（公開出願番号）：特開2002-368037
特許番号：特許第3503700号
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】中心部に長手通しに形成された貫通孔へのエアー供給孔を備えた本体と、貫通孔に挿入され、中央部に空気流通孔が長手通しに設けられるテンション発生管と、貫通孔の開口終端に固定され、前記テンション発生管の空気流通孔より小径のワイヤ挿通孔を備えたワイヤガイドとを有するワイヤボンダ用エアーテンション装置であって、前記テンション発生管の先端は、エアー供給孔に対峙する先細りのテーパ形状に形成され、エアー供給孔からの噴出エアーのボンディングワイヤへの直接衝突を防止するワイヤボンダ用エアーテンション装置。

IPC (1件)：