特許
J-GLOBAL ID：201103006076434818
フーリエ分光法を用いた厚み測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
青木 健二
, 阿部 龍吉
, 蛭川 昌信
, 白井 博樹
, 内田 亘彦
, 菅井 英雄
, 韮澤 弘
, 米澤 明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-013090
公開番号（公開出願番号）：特開2000-213918
特許番号：特許第3561429号
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】フーリエ分光装置を用いて試料を測定することにより試料の測定インターフェログラムを求めるとともに、この測定インターフェログラムに現れるセンターバーストを含むセンターバースト付近の測定インターフェログラムを用いて位相スペクトルの位相インターフェログラムを求め、前記測定インターフェログラムと前記位相インターフェログラムとに基づいて前記測定インターフェログラムに存在する非対称性を位相補正して対称インターフェログラムを求め、求めた対称インターフェログラムのセンターバーストおよびサイドバースト付近に残る非対称性をインターフェログラムの奇関数として取り出し、取り出した奇関数に現れるセンターバーストおよびサイドバースト付近の非対称性のピーク位置に基づいて、試料の厚みを計算することを特徴とするフーリエ分光法を用いた厚み測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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