特許

J-GLOBAL ID：201103006211212090

露光装置及び方法

発明者： 植村 恒三郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡辺 隆男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-115361
公開番号（公開出願番号）：特開平2-294013
特許番号：特許第2926241号
出願日： 1989年05月09日
公開日（公表日）： 1990年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガスの保守動作を必要とするレーザ光源と;該レーザ光源から射出されたレーザ光を用いてマスクのパターンの像で感応基板を露光するための露光本体部と;前記レーザ光源からの保守動作に関する情報と前記露光本体部での動作状態とに基づいて、前記レーザ光源にガスの保守動作を指令する制御系と;を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505

FI (4件)：

H01L 21/30 502 G ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 516 Z ,  H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭63-086593