特許
J-GLOBAL ID：201103006586376014
気泡発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-064449
公開番号（公開出願番号）：特開2011-194326
出願日： 2010年03月19日
公開日（公表日）： 2011年10月06日
要約：
【課題】気泡の発生量および気泡径のそれぞれを調節することができる気泡発生装置を提供する。【解決手段】本発明の気泡発生装置によれば、液体供給装置2によるチャンバ1への液体の流入量Qcおよび気体供給装置4によるチャンバ1への気体の流入量Qsが調節される。これにより、チャンバ1への気体の流入圧力の降下量ΔPに対する、チャンバ1への液体の流入圧力Pcの比率x=(Pc/ΔP)が調節される。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
チャンバと、液体供給装置と、気体供給装置とを備え、前記液体供給装置により前記チャンバに液体が流入されるとともに、前記気体供給装置により前記チャンバに気体が流入されることにより、前記チャンバにおいて発生した気泡混じりの液体が前記チャンバから流出されるように構成されている気泡発生装置であって、
前記液体供給装置による前記チャンバへの液体の流入量Qcおよび前記気体供給装置による前記チャンバへの気体の流入量Qsの調節を通じて、前記チャンバへの気体の流入圧力の降下量ΔPに対する、前記チャンバへの液体の流入圧力Pcの比率x=(Pc/ΔP)が調節されていることを特徴とする気泡発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
4G035AB06
, 4G035AC44
, 4G035AE02
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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