イオン注入装置およびイオン注入方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平2-099577
公開番号（公開出願番号）：特開平3-029258
出願日： 1989年01月26日
公開日（公表日）： 1991年02月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】X方向に電気的に走査されたイオンビームが導かれる注入室と、この注入室内にあってウェーハを保持するホルダと、このホルダを支えるアームを、ホルダの中心から離れた所にありかつイオンビームの進行方向にほぼ平行な姿勢を取る軸を中心にして、当該軸にほぼ直交する平面内において所定角度範囲内で往復旋回させて、ホルダを注入室内においてイオンビームに向けた状態でX方向と実質的に直交するY方向に機械的に往復走査するホルダ駆動装置とを備えることを特徴とするイオン注入装置。

IPC (2件)：