特許

J-GLOBAL ID：201103006757301972

応力検出素子、触覚センサー、および把持装置

発明者： 西脇 学
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-027325
公開番号（公開出願番号）：特開2011-163945
出願日： 2010年02月10日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：

【課題】小型化が可能で、かつ剪断力および押圧力を正確に検出可能な応力検出素子、触覚センサー、および把持装置を提供する。【解決手段】応力検出素子200は、矩形状の開口部111を有するセンサー基板11と、センサー基板11上に形成されて開口部111を閉塞する可撓性を有する支持膜14と、センサー平面視において、開口部111の一辺に沿い、開口部111の内側および外側に跨って設けられ、湾曲することで電気信号を出力する剪断力検出用圧電体210と、センサー平面視において、開口部111の内側で、剪断力検出用圧電体210から離れた位置に設けられ、湾曲することで電気信号を出力する押圧力検出用圧電体310と、支持膜14を覆う弾性膜15と、を具備した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

剪断方向に作用する剪断力、および前記剪断方向に直交する押圧力を検出する応力検出素子であって、 前記剪断力の検出方向に直交し、互いに平行する一対の直線部を有する開口部を備えた支持体と、 前記支持体上に形成されて前記開口部を閉塞するとともに、可撓性を有する支持膜と、 前記支持体を前記支持膜の膜厚み方向から見る平面視において、前記開口部の一対の前記直線部のうち少なくともいずれか一方の直線部に沿い、前記開口部の内外に跨って、前記支持膜上に設けられるとともに、湾曲することで電気信号を出力する第一圧電体部と、 前記平面視において、前記開口部の内側で、前記第一圧電体部から離間して設けられ、湾曲することで電気信号を出力する第二圧電体部と、 前記第一圧電体部、前記第二圧電体部、および前記支持膜を覆う弾性膜と、 を具備したことを特徴とする応力検出素子。

IPC (3件)：

G01L 5/16 ,  G01L 5/00 ,  B25J 19/02

FI (3件)：

G01L5/16 ,  G01L5/00 101Z ,  B25J19/02

Fターム (21件)：

2F051AA10 ,  2F051AB08 ,  2F051BA05 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03 ,  3C007DS01 ,  3C007ES03 ,  3C007KS03 ,  3C007KS32 ,  3C007KS34 ,  3C007KW02 ,  3C007LV09 ,  3C007LV10 ,  3C707DS01 ,  3C707ES03 ,  3C707KS03 ,  3C707KS32 ,  3C707KS34 ,  3C707KW02 ,  3C707LV09 ,  3C707LV10