特許
J-GLOBAL ID:201103006952991525

金属カルボニルを用いた無機物の金属修飾方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 220000323 工業技術院大阪工業技術研究所長
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-065814
特許番号:特許第3000150号
出願日: 1999年03月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】無機物の修飾方法であって、1)平均粒径50nm以下の金属超微粒子に一酸化炭素を通じることにより金属カルボニルを生成および気化させる工程、2)気化させた金属カルボニルを反応炉に供給する工程、3)気化している金属カルボニルを熱分解させることにより無機物表面に金属または金属酸化物を修飾する工程、並びに4)過剰の金属カルボニルを分解および排気する工程を有することを特徴とする無機物の修飾方法。
IPC (1件):
C23C 16/16
FI (1件):
C23C 16/16

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