特許
J-GLOBAL ID：201103007079001790
フラットパッケージ集積回路のリード検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-276044
公開番号（公開出願番号）：特開平3-139854
特許番号：特許第2885443号
出願日： 1989年10月25日
公開日（公表日）： 1991年06月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】フラットパッケージ集積回路を載置しこのフラットパッケージ集積回路の各リードなどの影をこのフラットパッケージ集積回路を載置した面とは反対の面に透過可能なスクリーン体と、このスクリーン体の上方にあって載置された前記フラットパッケージに対して所定位置に配設され異なる方向から光を前記スクリーン体に照射する照明装置と、前記スクリーン体の下方からこのスクリーン体に映った影を撮像する撮像装置と、この撮像装置の撮像により得られる画像データから前記リードの浮きを検査する検査手段とを具備したことを特徴とするフラットパッケージ集積回路のリード検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 J
, G01N 21/88 E
