特許
J-GLOBAL ID：201103007243437138
樹脂製機材の運搬方法およびその方法に使用される発熱具
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
菅原 正倫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-366121
公開番号（公開出願番号）：特開2003-165579
特許番号：特許第3898041号
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ウェーハやデバイスを洗浄する工程に使用される洗浄装置の樹脂材料で構成された筐体を有する樹脂製機材を、寒冷地、あるいは冬季の低温環境において運搬するための運搬方法であって、
前記筐体は、骨格をなすステンレスの枠材によって形成される枠間を塞ぐ塩化ビニール樹脂によって構成され、前記枠材は筐体のコーナ部に配置されると共に、前記筐体は前記枠材の外側に密着して構成されており、
前記筐体の運搬時において、化学反応によって自己発熱する発熱体を内包して変形可能に形成された発熱具の発熱反応を開始させ、
その発熱具を前記箇体の前記枠材と密着した角部および/または稜線部である破損抑制対象部の外側で、前記筐体の破損抑制対象部の外形に合わせて変形させながら貼り付け、
樹脂製機材を、前記発熱具による発熱が開始して前記破損抑制対象部を加温した状態のもとで、気温の低下にともない脆弱化した前記筐体の破損を抑制しながら運搬することを特徴とする樹脂製機材の運搬方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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